化学气相沉积炉 -尊龙凯时注册
卧式化学气相沉积炉主要用于以碳氢气体（如c3h8、ch4等）为碳源的材料表面或基体的cvd/cvi处理高温气相沉积设备主要用于关键器件表面涂层的制备，而温度是影响气相沉积涂层质量的关键参数，目前常规气相沉积设备的使用温度最高只有2000℃，本项目开发的气相沉积设备使用温度可达到2500℃
产品介绍
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卧式化学气相沉积炉主要用于以碳氢气体（如c3h8、ch4等）为碳源的材料表面或基体的cvd/cvi处理
高温气相沉积设备主要用于关键器件表面涂层的制备，而温度是影响气相沉积涂层质量的关键参数，目前常规气相沉积设备的使用温度最高只有2000℃，本项目开发的气相沉积设备使用温度可达到2500℃
型号
功率
温度
φ300*600
100kw
2500℃
φ500*1000
200kw
2500℃
φ800*2000
400kw
2500℃
φ1500*2500
1000kw
2500℃
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