氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉 -尊龙凯时注册
氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉为卧式中开门高真空感应炉，高温区加热，低温区气相沉积收集，应用于氧化亚硅等材料的高温制备及收集。
产品介绍
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氧化亚硅气相收集炉,硅负极气相收集炉,一氧化硅气相收集炉为卧式中开门高真空感应炉，高温区加热，低温区气相沉积收集，应用于氧化亚硅等材料的高温制备及收集。
型号
额定功率kw
炉膛尺寸mm*mm
收集区容积l
最高温度℃
腔体数
控温精度
极限真空度
ntg-cjl-40w
40
φ400*500
31.4
左边1400、右边1100
2
±1℃
10-3
ntg-cjl-60w
60
φ500*1050
103
左边1400、右边1100
2
±1℃
10-3
ntg-cjl-120w
120
φ600*2000
282.6
左边1400、右边1100
2
±1℃
10-3
